単結晶シリコンの結晶炉冷却に流量計
当社の流量計KSLシリーズは、半導体の材料になるシリコンウェハーの製造工程で使われています。
流量計KSLシリーズの誕生!
例えば、結晶炉(CZ炉)の引き上げ工程では、熱が外に伝わらないよう冷却する必要があります。
その冷却水の流量や温度を監視するのが流量計KSLシリーズ!
KSLシリーズは温度計測機能が標準搭載されていて、
冷却水の温度を均一に保つための監視に適しています。
KSL-5L/10L/30L/50L
▲CZ炉が並ぶ様子
おまけ
流量計を多系統で設置する場合は…
【流量計・流量センサ】
【集合配管システム マニホールド】
様々な流量計やバルブを搭載して分岐・集合配管を
コンパクトにまとめることができます。
【冷却水ユニット】
冷却水を何十系統も流す大型装置用には
配管部品を架台に組み込みコンパクトにします。
この商品で実現しました
|