デジタルマスフローコントローラ /メーター
GF100
・MultiFloTMテクノロジーよるガス種とフルスケール流量レンジを選択・変更
・ユーザーフレンドリーなインターフェイスの診断機能とサービスポート
・耐腐食性のハステロイ製T-Riseセンサによる長期安定性能
・超高速300msのセトリングタイムを実現(GF125/GF135)
・SDS(Safty Delivery System)、HA(高精度)オプション
・PTI(Pressure Transient Insesitivity)機能による優れた圧力変動耐性(GF125/GF135)
・リアルタイムでのガス流量異常診断&検出機能を搭載(GF135)
用途 |
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・最先端半導体製造プロセスのエッチャー、CVD、拡散炉
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・最先端化合物半導体MO-CVD
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・OEM/多用なガス種、流量レンジへのMultiFloTMでの対応による
使用ガスライン/予備在庫数量削減
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・PTI機能によるガスシステムの小型軽量化
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・ガス流量異常診断&検出機能で、クリティカルなプロセスガスでの長期安定流量制御
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仕様表
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型式 |
GF100 |
GF120 |
GF125 |
流量 |
3 sccm F. S〜50 slm N2換算 |
精度 |
±1% R.S (35-100%FS)
±0.35% F.S. (2-35%FS) |
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<±0.15%R.D. |
周囲温度範囲 |
10-50 ℃ |
応答性 |
1s以下 |
300〜
700ms以下 |
外部リークレート |
1x10-12 Pa・m3/s (He)以下 |
表面祖度 |
0.25µm |
0.1µm Ra |
I/O |
0-5Vdc/RS485/DeviceNetTM |
Multi-Flo |
オプション |
対応 |
PTI |
未対応 |
未対応 |
対応 |