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●半導体装置の国際化に向けて開発した新製品。 ●従来型を改良して、よりコンパクトで操作性のよい集中配管。 ●複数個（最大１０連）の流量センサを搭載し、バルブ機能と集中配管を一体化させた水の集積ユニット。 ●同時開発製品のフリーポートマニホールドと組み合わせ、IN側及びOUT側を省スペースで組み立てることができる。

仕様表
使用流体	工業用水・水など
最高使用圧力	0.97 MPa
流体温度	0〜60℃（無凍結時）
接続口径	Rc 3/4
接液部材質	BsBM(Niメッキ) or SUS/ポリアセタール・ポリアミド/ナイロン
連　数	最小1連〜最大10連

外観寸法図

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