概    要

半導体装置の真空排気系ポンプのメンテナンスには、業界でもいち早く取り組み、数々の実績を上げています。独自の部品再生技術により、高品質・低価格・短納期で対応しております。メーカー問わずご相談下さい。

事業内容

• 真空ポンプの診断・再生とメンテナンス及び販売

主力製品

真空ポンプメンテナンス、真空ポンプの販売、ポンプパーツの販売、有害物質洗浄、部品再生など

メーカーを問わず、幅広い対応が可能

エドワーズ製ドライポンプ	荏原製ドライポンプ	ロータリーポンプ
メカニカルブースターポンプ	油拡散ポンプ	ドライスクロールポンプ

高品質・低価格・短納期をモットーにお客様のニーズにお応えできる再生業務を実施します。

取扱メーカー

• 日本アルカテル・ルーセント株式会社
• エドワーズ株式会社
• 株式会社荏原製作所
• 樫山工業株式会社
• キヤノンアネルバ株式会社
• アルバックイーエス株式会社
• 日本エリコンライボルト株式会社
• 丸山真空株式会社
• 株式会社島津製作所
• 株式会社大阪真空機器製作所
• バリアンテクノロジーズジャパンリミテッド

再生業務アウトライン

メーカー技術実習を基礎とした確実な再生を提供します。
装置、治具を備えた専用ラボにおける低価格/短納期再生を実施しました。

特殊加工処理の説明

■溶射　■テフロンコーティング　■セラミックコーティング
■アルマイト処理　■ラッピング処理　■有害物質洗浄

付帯業務 

• 真空ポンプ取り外し及び取付業務
• 真空配管、真空チャンバー等の設計制作及び排気系の設計制作
• 真空ポンプの引取納品
• 現地でのポンプメンテナンス

修理可能機種一覧